编者序
感谢林老师通过多种场景案例对J20做了细致的测评。我们设计倾角双靶阴极+标配旋转偏转台，原始出发点是：把J20定位成离子溅射仪中的SUV：适应场发射（FE-SEM）多类型样品喷镀场景。J20（SUV）双靶基本等同于常规的单靶离子溅射仪（轿车）效果。2. 3D样品场景(粉末、多孔、纤维等，类比山路) J20倾角双阴极+旋转偏转+叠层工艺，实现全方位多角度大面积沉积，其荷电效果和图像效果优于单靶ISC150。逻辑上先喷高熔点的Pt可以更小地形核，荷电导出通道更连续，后喷Au在信号量及形貌衬度的贡献更大。林老师测评部分案例也佐证了效果。特别地，林老师的案例(比如高分子材料、介孔材料) 刷新了我们的认知：在处理脆弱敏感材料的时候，先喷Pt对样品的表面形成保护，然后喷Au去提升样品的漏电能力和信号量，结合样品的旋转偏转增加金膜覆盖的均匀度，最后得到形貌更真实且清晰的图像。最后，再次感谢林老师的测评。具体的案例分析请参考以下PPT内容：
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2. 对样品的损伤
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速普J20溅射25s能谱图，Au颗粒已经溅射在样品表面![]()
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J20用于细小、脆弱且温度敏感材料的观察
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案例展示-纳米线组成的聚乙烯薄膜
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上图从左到右，分别是铂5秒+金10秒，铂10秒+金40秒，铂15秒+金70秒。喷金角度不变倾斜22度，仅旋转转盘16转/分钟。结果显示，随着喷镀金属的量增大，荷电效应得到明显削弱，但是形貌像却出现了损伤。
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上图是分两次共溅射铂40秒加固结构，然后加铂5秒+22秒金，期间保持样品台旋转 20转/分钟加倾斜 30°到 -30° 连续改变的结果。这种先喷镀Pt加固结构然后喷Au的叠层方式，结合样品旋转偏转，即使在高的放大倍率，也能得到清晰且真实的形貌像。
J20用于介孔信息的观察
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