Product Introduction
Product Specification
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技术规格 |
参数 |
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真空泵 |
高性能旋片泵 |
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抽速 |
≥4m3/h |
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极限真空 |
<1Pa |
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工作气压 |
3-10Pa |
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抽真空时间 |
<3Min |
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真空规 |
皮拉尼真空计 |
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腔体 |
石英玻璃腔体 Mini120: Ø120*120mm; Mini150: Ø150*120mm |
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数显样品台（选配） |
Ø50mm可偏转数显行星样品台，旋转转速：10-60RPM可调，偏转角度：±30度可调，靶基距40-60mm可调 |
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磁控溅射靶 |
靶材尺寸 Ø50*0.1-1mm |
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溅射电源 |
恒功率DC溅射电源 Max. 20W, Max. 100mA, 0-800V |
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操作方式 |
触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能 |
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重量 |
~15kg |
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尺寸 |
~250mm宽*330mm深*360mm高 |
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