MINI 120/150 离子溅射仪

可喷镀金属：Au、Pt、Pd、Ir 等

1磁控溅射阴极技术：喷镀细腻、无热损伤

2 触摸屏一键自动化：使用便捷、省时省心

3 模块化旋转样品台：3D 样品喷镀

产品介绍

Product Introduction

过去十年，随着灯丝及电子光路的优化，特别是化合物灯丝的使用，灯丝电镜分辨率进一步提升，从典型的几千倍到几万倍量级，甚至达到传统入门级场发射电镜水平。

离子溅射仪相应地也从二极溅射升级到磁控溅射为主。通常 <2 万倍内，喷 Au 为主，2-10 万倍区间以喷 Pt 为主，足以应对大多数钨灯丝 SEM 场景。

针对越来越多 3D 样品场景（粉末、颗粒、多孔、纤维等样品），我们自主设计了模块化的数显旋转样品台。倾斜式行星旋转模式使得薄膜沉积更均匀，解决了样品侧面的绕镀问题，对于 3D 粉末类、多孔类及隔膜类样品 SEM 制样特别友好。

基本参数

Product Specification

技术规格	参数
适用场景	钨灯丝SEM和入门级FE-SEM样品表面导电镀层制备
真空泵	高性能旋片泵
抽速	≥4 m³/h
极限真空	<1 Pa
设定气压	4-10 Pa
抽真空时间	<2 min
溅射计时	0-300 s
真空计	皮拉尼真空计
腔体(标配)	石英玻璃腔体 (外尺寸 Ø120 mm × H 120 mm) （外尺寸 Ø150 mm × H 120 mm ）
旋转偏转样品台（Mini120选配）	Ø50 mm旋转偏转样品台：转速10-60 RPM，偏转角度±30°，工作距离 40-55 mm，均连续可调
溅射靶材	Ø50 mm，厚度 (0.1–1) mm
溅射电源	恒功率直流磁控溅射电源，输出： 1-20 W； 0-100 mA；0-800 V
操作方式	触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能
主机重量	~12 kg
主机尺寸	250 mm宽×360 mm深×330 mm高
输入电源	100-240 V AC，50/60 Hz，三脚接地插头
功耗	<500 W
质保	一年
备注	以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们