技术规格

参数

适用场景

超高分辨场发射扫描电镜（FE-SEM）样品和FIB样品表面导电镀层制备

真空泵组

涡轮分子泵+无油隔膜泵

抽速

分子泵：≥9  L/s；隔膜泵：≥0.7 m³/h

极限真空

<5×10^-2  Pa

工作气压

0.5-1.5 Pa

气体控制

MFC气体质量流量控制器（≥5 SCCM N₂）

泵组启动时间

<5 min

溅射计时

0-300 s

真空计

复合高真空计（测量范围：1×10^-3 Pa-标准大气压）

腔体（标配）

石英玻璃腔体 (外尺寸 Ø150 mm × H 120 mm)

旋转样品台

直径：Ø80 mm；转速：60 RPM；工作距离：55-70 mm（连续可调）

溅射靶材

Ø30 mm，厚度 (0.2–1) mm

溅射电源

恒功率直流磁控溅射电源，输出： 1-20 W； 0-100 mA；0-800 V

进气口

Ø6 mm气路接口

操作方式

触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能

重量

~17 kg

尺寸

250 mm宽×360 mm深 ×374 mm高

输入电源

100-240 V AC  ，50/60 Hz ，三脚接地插头

功耗

<160 W

质保

一年

备注

以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们