技术规格

参数

真空泵组

 涡轮分子泵+无油隔膜泵

抽速

 ≥隔膜泵 0.7 m³/h +分子泵30.5 m³/h

极限真空

  < 5*10^-2 Pa

工作气压

  0.5-2Pa

气体控制

  MFC气体质量流量控制器（50 SCCM N₂）

泵组启动时间

  < 3-5Min

溅射计时

  0-300S

真空规

  高真空复合真空计（测量范围：大气压-10^-3Pa）

腔室尺寸

  ~Ø150 *120mm

旋转样品台

  直径：80mm；转速：60RPM，靶基距：55-70mm连续可调

溅射靶材

  靶材尺寸 Ø30 * 0.2-1mm/2片，支持单靶溅射和双靶顺序溅射两种模式

溅射电源

  恒功率DC溅射电源 Max. 30W，Max. 100mA，0-800V DC

进气口

  Ø6mm气管

操作方式

  触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能

重量

  ~15kg

尺寸

  ~250mm长 *360mm深 *374mm高

电源

  100-240V AC，180W Max.

质保

  一年

备注

  以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们