S300 高真空离子溅射仪

可喷镀金属：Au、Pt、Pd、Ir、Cr、Ag、Ti、Cu

1大面积均匀喷镀：最大支持Ø12英寸样品

2 节拍快：单次喷镀 20分钟以内

3 高真空无油泵组：清洁无污染，适合洁净间

产品介绍

Product Introduction

S300是一款大面积喷镀高真空离子溅射仪，基于磁控溅射原理，采用涡轮分子泵与无油隔膜泵组合，实现10 ^-4Pa量级的洁净真空。配备自主研发的旋转样品台，只需要小尺寸的2英寸阴极（大幅节约昂贵的贵金属靶材购买成本）就可在最大12英寸晶圆面积内均匀稳定地沉积导电膜，适用于超高分辨率场发射电镜样品的喷金、铂及其它易氧化金属喷镀。

触摸屏控制，即插即用。

基本参数

Product Specification

技术规格	参数
适用场景	大面积高分辨/超高分辨场发射电镜 FESEM 导电膜喷镀
真空泵组	涡轮分子泵+无油隔膜泵
抽速	≥隔膜泵 1.5 m³/h +分子泵 80L/S
极限真空	10^-4Pa 量级
工作气压	典型值 0.3-1 Pa
气体控制	恒流控制，MFC气体质量流量控制器（50 SCCM N₂）
启动时间	< 5-10 Min 到10^-3Pa 量级
溅射计时	0-600S
真空规	高真空复合真空计【大气压到10^-5Pa 量级】
腔室尺寸	~ Ø350 *100 mm
样品台	Ø300 mm 旋转样品台，最大可以放置12英寸晶圆旋转转速：5-30RPM 连续可调靶基距50-80 mm可调
溅射靶材	靶材尺寸 Ø50 * 0.2-1 mm/2只贵金属：Au、Pt、Pd、Ir等易氧化金属： W、Cr、Ag等
溅射电源	恒功率DC溅射电源 Max. 30W ，Max. 100 mA，0-800 V DC
进气口	Ø6 mm气管
操作方式	触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能
尺寸重量	~450mm长 500mm深 450 mm高主机~50 kg
电源	220V AC, 500W Max.
质保	一年
备注	所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们