TEM 样品杆或样品如果暴露在空气中或存储不当，容易产生有机污染，如果继续将其置 于TEM 腔室内，不仅会影响成像质量，而且对 TEM 腔室也会造成污染。

等离子体清洗仪IC150，通过RF射频电源将通入的空气离化，离化后产生的氧活性自由基、 臭氧及氧等离子体等强氧化粒子与样品表面有机污染物发生化学反应，生成 CO₂ 和 H₂O 等气体并被真空泵组抽出，最终实现样品杆或样品表面有机污染物清洗之目的。