技术规格

参数

适用场景

 高分辨场发射扫描电镜（FE-SEM）样品表面导电镀层制备

真空泵

 高性能旋片泵

抽速

  ≥4 m³/h

极限真空

  <1 Pa

设置气压

  4-10 Pa

抽真空时间

  <2 min

溅射计时

  0-300 s

真空计

  皮拉尼真空计

腔体（标配）

 石英玻璃腔体 (外尺寸 Ø150 mm × H 120 mm)

旋转样品台

 直径：Ø80 mm；转速：60 RPM；工作距离：55-70 mm（连续可调）

溅射靶材

 标配2片靶材（Ø30 mm，厚0.2–1 mm），支持单靶溅射与双靶顺序溅射

溅射电源

  恒功率直流磁控溅射电源，输出： 1-20 W； 0-100 mA；0-800 V

操作方式

  触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能

主机重量

  ~15 kg

主机尺寸

  250 mm宽×360 mm深×374 mm高

输入电源

  100-240 V AC  ，50/60 Hz ，三脚接地插头

功耗

  <500 W

质保

  一年

备注

  以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们