技术规格

参数

工作气压

 0.5-40Pa

射频电源

 13.56MHz射频电源，射频功率10-50W可调

气体模块

 标配MFC 100sccm流量计（N₂）/1只

操作方式

 触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能/提供串口控制指令，可供后续开发编程

尺寸

 250mm长*350mm宽*110 mm高（控制器）

 178.5mm长*138.5mm宽*99.5mm高（RF离子源）

重量

 ~9kg

连接方式

 KF40法兰接口

进气系统

 Ø6mm进气口

电源

 100-220V AC，50/60Hz 接地三脚插头

功耗

 ＜200 W