技术规格

参数

泵组

涡轮分子泵+无油隔膜泵

分子泵入口法兰

DN63ISO-K（标准）

分子泵抽速

>85L/s （N₂）

前级泵

>0.7m³/h

极限真空

<5E-4Pa

泵组启动时间

≤300s

TEM样品杆配件

适配Thermo、JEOL、Hitachi样品杆可选；可放置2路以上TEM holder

样品腔室尺寸

~160 *100 mm，等离子体处理强弱分区设置

等离子体清洗源

远程RF射频源原理，手动匹配

清洗电源功率

13.56MHz RF电源，5-50W可调

清洗气体控制

标配3路MFC流量计控制，可以外接如Ar、O₂和H₂等气体

真空规

进口品牌全量程复合规

操作方式

触摸屏控制, 预存工艺菜单，控制系­­­­­统提供互锁保护功能

重量

~30Kg

尺寸

~500mm宽*466mm深*390mm高