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半导体薄膜量测硬质涂层量测
Product Introduction
Product Specification
| 技术规格 | 参数 |
| 基本原理 | 激光曲率法 基于Stoney公式 |
| 薄膜应力测试范围 | 10M-50GPa |
| 曲率半径测试范围 | 0.5-50m |
| 薄膜应力计算精度 | 小于3% |
| 曲率半径重复精度 | ＜2% |
| 测试平台行程 | X方向：30 mm / Y方向：100 mm；步长：Min 0.1 mm |
| 样品尺寸 | 建议长宽比>5:1的长方形样品；典型尺寸：10×50×1 mm |
| 样品校正 | 可计算校正原始表面不平直影响（对减模式） |
| 主要功能 | 可建测量样品材料参数、测量参数数据库 自动测量样品表面轮廓、曲率、弓高等数据 自动计算曲率半径和薄膜应力 2D/3D 可视化样品表面轮廓、曲率半径、弓高、薄膜应力等数据 |
| 工作温度 | 0-50℃ |
| 操作软件 | 视窗界面/适用于Windows 10 系统 |
| 操作电脑 | 配置优于 2GHz CPU、 8G 内存、256G 硬盘，不小于21寸显示屏 知名品牌一体机 |
| 重量尺寸 | ～25kg / ～650 mm宽×350 mm 深×400 mm高 |
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