技术规格

参数

主要用途

  金属薄膜电极

真空泵组

  标配直流电机静音油泵+分子泵组/ 可选配干泵

泵组抽速

  >8 m³/h 机械泵+250 L/S 分子泵

极限真空

  <3.0E-4 Pa

工作气压

  典型值：0.3-1Pa

抽空时间

  <15 Min （<3.0E-3 Pa，洁净腔体）

真空测量

  测量范围大气压到10E-5 Pa，进口品牌复合真空计

气体控制

  两路 MFC气体质量流量控制器（50或100 SCCM Ar/N2）

腔室尺寸

  ~Ø 300 *180 mm

磁控靶源

  靶材尺寸 Ø 50.8*0.1-5 mm /3只(  选配靶材尺寸 Ø 76.2 *0.1-5 mm /2只)

  可实现单靶溅射/双靶共溅射/交替溅射

  带独立挡板，可溅射贵金属Au/Pt等，

  或金属Al、Cr、Ag、Ti等金属（通Ar气）

溅射电源

  恒功率磁控DC溅射电源 Max. 300W （可选国产或进口品牌）

  偏压DC溅射电源 0-400V电源（选配）

样品台

  6英寸样品台。系统采用多轴伺服电机控制系统+磁流体密封+波纹管模组，可以实现样品台自动上下升降（可调范围不低于40mm），以及样品台的旋转（速度 0-60 RPM可调）

等离子清洗

  可选配RF射频等离子清洗源（50W）

工控模式

  提供客户端工艺菜单编辑软件。可以实现工艺菜单灵活编辑（可以在工 艺编辑软件进行模块化的工艺菜单编辑）+工艺菜单自动控制执行模式（载入工艺菜单，支持实现无人值守或远程网络控制镀膜）

操作方式

  触摸屏控制/电脑远程网络控制

重量尺寸

  ~400 Kg / 600 mm宽*1400 mm深*1000 mm高

输入电源

  220V AC，50/60Hz 接地三脚插头

输入功耗

  < 3000 W

冷却方式

  标配水冷机