MINI 离子溅射仪

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MINI 离子溅射仪

可喷镀金属：Au、Pt、Pd、Ir 等

1磁控溅射阴极技术：喷镀细腻、无热损伤

2 触摸屏一键自动化：使用便捷、省时省心

3 模块化旋转样品台：3D 样品喷镀

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产品介绍

Product Introduction

过去十年，随着灯丝及电子光路的优化，特别是化合物灯丝的使用，灯丝电镜分辨率进一步提升，从典型的几千倍到几万倍量级，甚至达到传统入门级场发射电镜水平。

离子溅射仪相应地也从二极溅射升级到磁控溅射为主。通常 <2 万倍内，喷 Au 为主，2-10 万倍区间以喷 Pt 为主，足以应对大多数灯丝 SEM 场景。

针对越来越多 3D 样品场景（粉末、颗粒、多孔、纤维等样品），我们自主设计了模块化的数显样品旋转台。倾角式行星旋转模式使得薄膜沉积更均匀，且可实现立体角旋转喷镀，解决了样品侧面的绕镀问题，对于 3D 粉末类、多孔类及隔膜类样品 SEM 制样特别友好。

基本参数

Product Specification

技术规格	参数
真空泵	高性能旋片泵
抽速	≥4m³/h
极限真空	<1Pa
工作气压	5-10Pa
抽真空时间	<3Min
真空规	皮拉尼真空计
腔体	标配 Ø120*120mm 石英玻璃腔体
数显样品台	Ø50mm可偏转数显行星样品台，旋转转速：10-60RPM可调，偏转角度：±30度可调，靶基距40-60mm可调
磁控溅射靶	靶材尺寸 Ø50*0.1-0.5mm
溅射电源	恒功率DC溅射电源 Max. 20W, Max. 100mA, 0-800V
操作方式	触摸屏控制
重量	~20kg
尺寸	~250mm宽390mm深328mm高