技术规格 |
参数 |
泵组 |
德国普发无油干泵 |
抽速 |
>0.7m3/h |
极限真空 |
<50Pa |
抽真空时间 |
<2Min |
真空规 |
德国Leybold皮拉尼真空计 |
样品腔室尺寸 |
~150*90mm的不锈钢 |
TEM样品杆转接 |
适用于Thermo、JEOL、HITACHI等品牌样品杆转接 |
射频功率 |
可调功率工作范围:10-50W,13.56MHz |
工作压强 |
60-150Pa |
气体控制 |
恒定压强闭环控制 |
操作方式 |
触摸屏控制 |
重量 |
~20kg |
尺寸 |
~430mm长*385mm深*410mm高 |