技术规格

参数

基本原理

激光曲率法 基于Stoney公式

主要方法

采用双波长激光对样品进行扫描测量 635 nm/670 nm 波长/ >5mW

主要功能

自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、翘曲度、曲率半径和薄膜应力

薄膜应力测试范围

1~10000 MPa

曲率半径测试范围

2-20000 m

曲率半径重复精度

＜1 % 1σ（曲率半径< 20 m） ＜2.5 % 1σ （曲率半径 < 200 m）

最小扫描步长

0.1mm

样品尺寸

子型号M6-标配最大6 英寸，向下兼容4、3、2 英寸 子型号M8-标配最大8 英寸，向下兼容6、4、2 英寸 子型号M12-标配最大12英寸，向下兼容8、6、4 英寸

样品台

电动旋转平台

样品基片校正

可数据处理校正原始表面不平影响（对减模式）

通讯连接端口

USB 3.0

操作软件

可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、翘曲 曲率半径和薄膜应力分布 视窗界面/适用于Windows 10系统

操作电脑

标配品牌台式一体机： 显示器：≥21英寸，≥8 G内存，CPU ≥ 2.5 GHz，≥512 G硬盘

重量尺寸

～35kg / 850 宽×550深×450 高 mm