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MINI 离子溅射仪
  • 磁控溅射阴极技术：喷镀细腻、无热损伤
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  • 模块化旋转样品台：3D 样品喷镀
J20 双靶离子溅射仪
  • 双靶磁控溅射阴极：无需换靶、特色叠喷工艺
  • 触摸屏一键自动化：使用便捷、省时省心
  • 标配模块化旋转偏转样品台：3D粉末类样品喷镀
ISC150 离子溅射仪
  • 磁控溅射阴极技术：喷镀细腻、无热损伤
  • 大舱腔体（直径150mm）、恒压喷镀
  • 触摸屏一键自动化：使用便捷、省时省心
SPC150 高真空等离子体清洗仪
  • 超薄碳膜碳氢污染清洗
  • TEM 样品/样品杆等离子体处理
  • 特色硅污染清洗
IC150 等离子体清洗仪
  • TEM 样品及样品杆清洗
  • 载网 / 样品表面亲水化处理
  • 高性能真空干泵，无油高效
COOLGLOW 辉光放电仪
  • ICP-RF技术：等离子体更温和
  • 常温无损伤
  • 均匀重复性好
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FST 5000 薄膜应力测量仪
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FST3000 原位薄膜应力测量仪
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BCT1000 球坑测厚仪
  • 专用球坑测量软件
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